ХИМИЯ|МАТЕМАТИКА
РЕШЕНИЕ ЗАДАЧ
Курсовые|Рефераты Репетиторы по химии

Изготовление наноразмерных металлических мембран

↑ Grab this Headline Animator

Изобретение относится к способу изготовления наноразмерных металлических мембран. Сначала на сплошную ацетатную подложку, высаженную на поддерживающую медную сетку, напыляют слой металла - серебра или золота, поверх которого напыляют слой углерода, причем коэффициент распыления углерода ниже коэффициента распыления металла. Затем растворяют ацетатную подложку и производят ионное травление полученной двухслойной пленки до образования наноотверстий. После получения пленки с наноотверстиями на нее дополнительно напыляют укрепляющий слой углерода толщиной 100-200 нм. Изобретение позволяет получать наноразмерные металлические мембраны, обладающие повышенной стойкостью к внешним воздействиям.

Формула изобретения

1. Способ изготовления наноразмерных металлических мембран, характеризующийся тем, что на сплошную ацетатную подложку, высаженную на поддерживающую медную сетку, сначала напыляют слой металла - серебра или золота, поверх которого напыляют слой углерода, причем коэффициент распыления углерода ниже коэффициента распыления металла, растворяют ацетатную подложку, производят ионное травление полученной двухслойной пленки до образования наноотверстий, и после получения пленки с наноотверстиями на нее дополнительно напыляют укрепляющий слой углерода.
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что напыление металла и углерода на подложку производят путем термического испарения в вакууме.
3. Способ по п.1, отличающийся тем, что напыление металла и углерода на подложку производят путем катодного распыления мишеней.
4. Способ по п.1, отличающийся тем, что ионное травление производят равномерным по плотности потоком ионов аргона с энергией 3÷6 кэВ.
5. Способ по п.1, отличающийся тем, что ионное травление производят равномерным по плотности плазменным потоком ионов ксенона с энергией 200÷300 эВ.
6. Способ по п.1, отличающийся тем, что толщина укрепляющего слоя углерода составляет 100-200 нм.

Авторы изобретения: Михеев Сергей Юрьевич (RU), Рыжов Юрий Алексеевич (RU), Шкарбан Игорь Иванович (RU).

Другие открытия в области физической химии:

• Покрывающий маслянистый состав, включающий побочные продукты производства акриловых эфиров жирных кислот и/или биодизельного топлива

• Способ нанесения композиционных электрохимических покрытий на изделия с последующей электротермической обработкой

• Способ лазерного осаждения меди на поверхность диэлектрика

Перейти к полному списку открытий

Присылайте свои научные статьи на электронный адрес admin@xumuktutor.ru, и мы опубликуем их абсолютно бесплатно на страницах нашего сайта. Ваши научные достижения станут известны всем (или почти всем).