 |
|
|
Способ плазменно-химического осаждения из газовой фазы на внутреннюю поверхность полого изделия
Автор изобретения: НЁЛЬ Оливер (DE). Другие открытия в области физической химии:Перейти к полному списку открытий Присылайте свои научные статьи на электронный адрес admin@xumuktutor.ru, и мы опубликуем их абсолютно бесплатно на страницах нашего сайта. Ваши научные достижения станут известны всем (или почти всем). |
Полезная информация
|
Предметом изобретения является способ плазменно-химического осаждения из газовой фазы. Способ плазменно-химической обработки из газовой фазы для нанесения покрытия или удаления материала с внутренней поверхности полого изделия (42), в особенности из неметаллического материала, имеющего протяженность в длину и одно отверстие (43), имеет следующие стадии. Полое изделие устанавливают в середину вакуумной камеры (40) с заземленной внутренней стороной так, что минимальное расстояние между внешней стенкой полого изделия и внутренней стенкой вакуумной камеры составляет 15 см. Внутри вакуумной камеры расположен высокочастотный электрод (41). Вводят газовую трубку (44), состоящую из трубы с внутренним диаметром в 0,001-10 мм, максимальным внешним диаметром в 12 мм, и концевое сопло с диаметром отверстия на конце в 0,002-6 мм через отверстие в полом изделии. Установка газовой трубки в полом изделии осуществлена так, что газовая трубка расположена посередине относительно поперечного сечения полого изделия, а сопло газовой трубки расположено на расстоянии, составляющем две трети длины полого изделия, от отверстия полого изделия. Герметизация вакуумной камеры и откачивание воздуха из нее осуществляется до остаточного давления 0,001-20 Па. Введение инертного рабочего газа, а также одного или нескольких реакционных газов через устройство для подачи газа и газовую трубку в полое изделие и зажигание плазмы полого пространства (45) изделия при образовании на наконечнике газовой трубки плазмы осуществляется посредством создания высокочастотного электрического поля на ВЧ-электроде. Достигаются улучшенная очистка полых изделий, улучшенная защита от коррозии поверхностей с нанесенным покрытием, снижение коэффициента трения внутренней поверхности и улучшение теплоотдачи.
smart 609354696
Smart_art13