ХИМИЯ|МАТЕМАТИКА
РЕШЕНИЕ ЗАДАЧ
Курсовые|Рефераты Репетиторы по химии

Получение ориетированных фторидных покрытий из газовой фазы

↑ Grab this Headline Animator

Изобретение относится к области технологии тонких пленок и покрытий, в частности к получению тонких пленок и покрытий неорганических фторидов, которые могут быть использованы как оптические, изоляционные и буферные материалы со строго определенной кристаллографической ориентацией - ориентированные фторидные покрытия. Способ получения ориентированных фторидных покрытий методом химического осаждения из паровой фазы включает размещение подложки в зоне осаждения реактора химического осаждения при температуре 250-400°С, проведение осаждения фторидного покрытия на подложку путем смешения потока металлоорганических соединений, которые испаряют в температурном интервале 150-300°С и давлении 1-20 мбар, и фторидобразующего потока. В качестве металлоорганических соединений используют летучие металлорганические соединения, не содержащие фтор. Фторидобразующий поток генерируют из твердого прекурсора в результате его испарения непосредственно в реакторе химического осаждения при температуре 50-120°С из твердого прекурсора, в качестве которого используют кислый неорганический бифторид. Поток металлоорганических соединений и фторидобразующий поток подают в зону осаждения или противотоком, или коаксиальным введением потоков в потоке инертного газа. Расширяется спектр используемых подложек и металлоорганических реагентов, устраняется коррозия оборудования при осуществлении данного способа, обеспечивается защита полученных покрытий от окисления, снижается температура проведения процесса, а следовательно, и стоимость затрат получаемых покрытий.

Авторы изобретения: Кауль Андрей Рафаилович (RU), Горбенко Олег Юрьевич (RU), Самойленков Сергей Владимирович (RU), Корсаков Игорь Евгеньевич (RU), Бледнов Андрей Викторович (RU), Селезнев Борис Вадимович (RU).

Другие открытия в области физической химии:

• Покрывающий маслянистый состав, включающий побочные продукты производства акриловых эфиров жирных кислот и/или биодизельного топлива

• Способ нанесения композиционных электрохимических покрытий на изделия с последующей электротермической обработкой

• Способ лазерного осаждения меди на поверхность диэлектрика

Перейти к полному списку открытий

Присылайте свои научные статьи на электронный адрес admin@xumuktutor.ru, и мы опубликуем их абсолютно бесплатно на страницах нашего сайта. Ваши научные достижения станут известны всем (или почти всем).