Изобретение относится к способу изготовления наноразмерных металлических мембран. Сначала на сплошную ацетатную подложку, высаженную на поддерживающую медную сетку, напыляют слой металла - серебра или золота, поверх которого напыляют слой углерода, причем коэффициент распыления углерода ниже коэффициента распыления металла. Затем растворяют ацетатную подложку и производят ионное травление полученной двухслойной пленки до образования наноотверстий. После получения пленки с наноотверстиями на нее дополнительно напыляют укрепляющий слой углерода толщиной 100-200 нм. Изобретение позволяет получать наноразмерные металлические мембраны, обладающие повышенной стойкостью к внешним воздействиям.
Формула изобретения
Способ изготовления наноразмерных металлических мембран, характеризующийся тем, что на сплошную ацетатную подложку, высаженную на поддерживающую медную сетку, сначала напыляют слой металла - серебра или золота, поверх которого напыляют слой углерода, причем коэффициент распыления углерода ниже коэффициента распыления металла, растворяют ацетатную подложку, производят ионное травление полученной двухслойной пленки до образования наноотверстий, и после получения пленки с наноотверстиями на нее дополнительно напыляют укрепляющий слой углерода.
Способ по п.1, отличающийся тем, что напыление металла и углерода на подложку производят путем термического испарения в вакууме.
Способ по п.1, отличающийся тем, что напыление металла и углерода на подложку производят путем катодного распыления мишеней.
Способ по п.1, отличающийся тем, что ионное травление производят равномерным по плотности потоком ионов аргона с энергией 3÷6 кэВ.
Способ по п.1, отличающийся тем, что ионное травление производят равномерным по плотности плазменным потоком ионов ксенона с энергией 200÷300 эВ.
Способ по п.1, отличающийся тем, что толщина укрепляющего слоя углерода составляет 100-200 нм.
Авторы изобретения: Михеев Сергей Юрьевич (RU), Рыжов Юрий Алексеевич (RU), Шкарбан Игорь Иванович (RU).
Присылайте свои научные статьи на электронный адрес admin@xumuktutor.ru, и мы опубликуем их абсолютно бесплатно на страницах нашего сайта. Ваши научные достижения станут известны всем (или почти всем).
Приглашаем к сотрудничеству преподавателей, аспирантов и успешных выпускников для выполнения студенческих работ на заказ (рефератов, курсовых и контрольных работ). Подробнее >>
"Как бы кропотливо и тщательно вы ни готоволи выборку, вам всегда могут сказать, что она неправильна и неприменима к данной проблеме," - четвертый закон проверки
smart 609354696
Smart_art13